专利

专利名称：半导体设备安全检测系统和半导体设备安全检测方法
专利号：201110409327.0
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-06
专利名称：阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法
专利号：201110409326.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-05
专利名称： 一种电流传感器、阻抗匹配器以及等离子体加工设备
专利号：201110358825.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-04
专利名称：一种用于驱动磁控管的驱动机构及磁控溅射设备
专利号：201110356144.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-03
专利名称：基片处理设备及其腔室装置
专利号：201110343642.8
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-02
专利名称：基片处理设备及其腔室装置和基片加热方法
专利号：201110349863.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-09-01
专利名称：磁控源和磁控溅射设备
专利号：201110343552.9
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-31
专利名称：遮蔽装置、具有其的PVD设备及PVD设备的控制方法
专利号：201110294891.2
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-30
专利名称：一种等离子体预清洗装置
专利号：201110299536.4
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-29
专利名称：滤波电路和具有其的双频等离子处理装置
专利号：201110281850.X
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-28
专利名称：扫描机构、磁控源和磁控溅射设备
专利号：201110275874.4
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-27
专利名称：遮蔽装置及具有其的半导体处理设备
专利号：201110234741.2
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-26
专利名称：磁控管、溅射腔室装置和溅射设备
专利号：201110233023.3
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-25
专利名称：静电卡盘和半导体设备
专利号：201110220269.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-24
专利名称：加热装置、腔室装置和基片处理设备
专利号：201110147138.0
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-23
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