专利

专利名称：一种磁控管、磁控管的制造方法及物理沉积室
专利号：201110129406.6 
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-22
专利名称：一种磁控管、磁控管的制造方法及物理沉积室
专利号：201110128880.7 
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-21
专利名称：数据处理方法和数据处理装置
专利号：201110113905.6 
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-20
专利名称：电镀装置
专利号：201120122439.3
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-19
专利名称：溅射腔室、预清洗腔室以及等离子体加工设备
专利号：201110099424.4 
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-18
专利名称：磁极组件及具有它的磁控管、溅射室装置和基片处理设备
专利号：201110084073.X
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-17
专利名称：静电夹持装置及半导体处理设备
专利号：201110029766.9
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-16
专利名称：磁控管和半导体处理设备
专利号：201110027343.3
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-15
专利名称：步进电机的控制方法、装置及阻抗匹配器
专利号：201110021619.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-14
专利名称：磁控源，磁控溅射设备和磁控溅射方法
专利号：201010613102.2
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-13
专利名称：工艺数据的获取、存储方法和装置以及工艺数据处理系统
专利号：201010608964.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-12
专利名称：法拉第屏蔽及等离子体加工设备
专利号：201010622211.0
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-11
专利名称：PVD设备及采用该PVD设备进行晶片处理的方法
专利号：201010606451.1
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-10
专利名称：磁控溅射源及磁控溅射设备
专利号：201010621854.3
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-09
专利名称：一种磁控溅射源及磁控溅射设备
专利号：201010614069.5
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-08
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