专利

专利名称：真空机械手和晶片处理系统
专利号：201010610647.8
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-07
专利名称：基片加热腔室、使用基片加热腔室的方法及基片处理设备
专利号：201010606908.9
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-06
专利名称：磁控源和磁控溅射设备、以及磁控溅射方法
专利号：201010590171.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-05
专利名称：法拉第屏蔽及等离子体加工设备
专利号：201010603743.X
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-04
专利名称：用于PVD工艺的反应腔室和PVD系统
专利号：201010603748.2
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-03
专利名称：晶片处理系统和晶片处理方法
专利号：201010600961.8
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-02
专利名称：步进电机的控制方法和装置、匹配器及等离子体加工设备
专利号：201010600930.2
专利权人：北方微电子
时间：2011-08-01
专利名称：磁控源和磁控溅射设备、以及磁控溅射方法
专利号：201010583271.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-31
专利名称：工艺数据的获取方法和装置、设备控制系统
专利号：201010583993.1
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-30
专利名称：一种磁控溅射设备
专利号：201010588178.4
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-29
专利名称：一种磁控溅射源及磁控溅射设备
专利号：201010588197.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-28
专利名称：屏蔽装置、加工方法及设备、半导体设备
专利号：201010588211.3
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-27
专利名称：下电极装置和半导体设备
专利号：201010591768.2
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-26
专利名称：加热装置及应用该加热装置的基片处理设备
专利号：201010591783.7
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-25
专利名称：工艺数据采集方法、装置及系统
专利号：201010582567.6
专利权人：北方微电子
时间：2011-07-24
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