专利
专利名称：小线段路径压缩平滑的前瞻插补系统
专利号：201410186814.9
专利权人：上海交通大学
时间：2014-05-05
专利名称：用于超声振动辅助加工的振动台装置
专利号：201410158654.7
专利权人：上海交通大学
时间：2014-04-18
专利名称：一种叶轮的椭圆形叶缘造型系统及方法
专利号：201210560351.9
专利权人：上海交通大学
时间：2012-12-21
专利名称：二自由度平动并联高带宽微动平台
专利号：201210477575.3
专利权人：上海交通大学
时间：2012-11-22
专利名称：微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置及方法
专利号：201210141008.0
专利权人：上海交通大学
时间：2016-10-09
专利名称：非垂直式自动聚焦系统以及相应的光学仪器
专利号：201610880380.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2016-10-09
专利名称：基于穆勒矩阵的应力检测装置及方法
专利号：201610268761.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2016-04-27
专利名称：用于确定光斑位置的方法和设备
专利号：201610880649.6
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2016-10-09
专利名称：一种光学关键尺寸测量系统及其方法
专利号：201610838777.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2016-09-21
专利名称：基于前值的关键尺寸测量方法和设备
专利号：201510323992.6
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2015-06-12
专利名称：寬波段消色差複合波片的定標方法
专利号：105110859.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2016-04-07
专利名称：宽波段消色差复合波片的定标方法
专利号：PCT/CN2016/079225
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2016-04-14
专利名称：宽波段消色差复合波片的定标方法
专利号：201510218243.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2015-04-30
专利名称：一种无硅片的测量流程编译方法
专利号：201510481789.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2015-08-07
专利名称：一种对晶圆中的低对比度定标区域实施定标的方法
专利号：201510410096.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2015-07-14