专利

专利名称：基于晶圆边角和缺口定位的自动校正定标系统
专利号：201510402036.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2015-07-09
专利名称：Method and Appratus for Measuring Critical Demension of Semiconductor
专利号：14/594,368
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2015-01-12
专利名称：TFX3000使用手册
专利号：2013Z11S032063
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-10-20
专利名称：薄膜线宽测量装置
专利号：201430031649.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-02-21
专利名称：信号灯杆
专利号：201330417964.2
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-08-30
专利名称：一种多通道温度测量系统
专利号：201420179132.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14
专利名称：一种光学准直装置
专利号：201420179004.6
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14
专利名称：升降小车
专利号：201420072198.X
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-02-19
专利名称：用于清洁晶片表面的吹气装置
专利号：201320491273.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-08-12
专利名称：一种机柜的支撑组件
专利号：201320491403.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-08-12
专利名称：用于平台调平的隔震结构
专利号：201320533959.2
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-08-29
专利名称：快速装卸门结构
专利号：201320487189.2
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-08-09
专利名称：光谱仪控制电路及光谱仪
专利号：201220366078.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-07-26
专利名称：环境因素采集系统以及半导体集成电路生产工艺测量设备
专利号：201220051192.5
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-02-16
专利名称：气浴装置、真空抽排装置以及半导体设备
专利号：201220056075.8
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-02-20
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