专利
专利名称：一种用于光学测量设备的微环境控制系统
专利号：201220064468.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-02-27
专利名称：测量半导体机台的平台性能参数的辅助装置
专利号：201120573650.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-12-31
专利名称：一种对半导体设备精密定位运动平台进行定向的装置
专利号：201220050607.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-02-16
专利名称：物体表面高度快速定位的方法与装置
专利号：201410190950.5
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-05-07
专利名称：快速测量物体表面面形的方法及其应用
专利号：201410147774.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14
专利名称：运动平台系统的平面定位补偿方法
专利号：201410150200.5
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-15
专利名称：物体旋转中心的定标方法与装置
专利号：201410394877.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-08-12
专利名称：一种用于优化测量系统的灵敏度的方法
专利号：201410183276.8
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-05-04
专利名称：在旋转器件型光谱椭偏仪中的同步触发定标方法及装置
专利号：201410182879.6
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-05-04
专利名称：温度标定方法及装置
专利号：201410183275.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-05-04
专利名称：一种用于高发热量可调光源的风冷装置
专利号：201410056470.X
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-02-19
专利名称：晶圆清洁装置及方法
专利号：201410109560.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-03-24
专利名称：晶圆清洁箱内微环境控制装置及控制方法
专利号：201410110078.9
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-03-24
专利名称：一种自动聚焦系统
专利号：201410119398.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-03-27
专利名称：用于无图案硅片测量的定位方法
专利号：201410148197.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14