专利

专利名称：一种晶圆对准系统和晶圆对准方法
专利号：201410148217.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14
专利名称：校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法
专利号：201410057946.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-02-20
专利名称：全自动标准椭偏仪的机械传动系统
专利号：201410147778.5
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14
专利名称：一种应用在半导体测试设备上的图像识别设备
专利号：201410147823.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-04-14
专利名称：一种进行测量光谱与库光谱匹配的方法及其设备
专利号：201410016003.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-01-14
专利名称：用于光学关键尺寸测量的方法及装置
专利号：201410234193.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-05-29
专利名称：一种在OCD测量中用于筛选波段的方法和装置
专利号：201410042262.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-01-28
专利名称：一种用于获取样品介质的空间谱的方法和装置
专利号：201310676362.8
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-12-11
专利名称：具有同步数据集机制的光学测量系统
专利号：201410060689.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-02-21
专利名称：一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置
专利号：201310505175.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-10-23
专利名称：一种镜头组安装组件以及具有该组件的光学测量系统
专利号：201310461764.6
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-09-30
专利名称：可调节光源装置及包括该装置的精密测量设备
专利号：201310674726.9
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-12-11
专利名称：一种水冷散热装置
专利号：201310517868.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-10-28
专利名称：用于精密元件的定位调节装置
专利号：201310517870.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-10-28
专利名称：一种图像识别系统的管镜以及具有该管镜的图像识别系统
专利号：201310467424.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-10-09
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