专利
专利名称：一种用于获取样品参数信息的匹配方法和装置
专利号：201310629919.2
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-11-29
专利名称：一种用于优化光学系统参数的方法和装置
专利号：201410542473.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-10-14
专利名称：一种模具
专利号：201310347008.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-08-09
专利名称：一种生成样品的光谱数据库及获取参数信息的方法和装置
专利号：201310628449.8
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-11-29
专利名称：一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置
专利号：201310751023.1
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-12-31
专利名称：确定测量模式和光学系统参数容差的方法和装置
专利号：201410542475.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-10-14
专利名称：一种半导体测量设备
专利号：201310312631.2
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-07-23
专利名称：一种在处理机台上生成用于定位晶圆的制程的方法
专利号：201310548035.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2013-11-06
专利名称：光谱仪控制电路及光谱仪
专利号：201210261990.5
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-07-26
专利名称：并行处理构架进行矩阵运算并用于严格波耦合分析的方法
专利号：201210313665.9
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-08-29
专利名称：用于光学测量仪器的温度控制方法和设备及光学测量仪器
专利号：201210086844.3
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-03-29
专利名称：一种用于光学测量设备的微环境控制系统
专利号：201210045010.8
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-02-27
专利名称：测量半导体机台的平台性能参数的辅助装置
专利号：201110459760.5
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-12-31
专利名称：一种定向半导体设备精密定位运动平台的装置
专利号：201210034862.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2012-02-16
专利名称：一种用于计算周期性介质傅里叶系数的方法
专利号：201110321325.6
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-10-20
