专利
专利名称：光学关键尺寸检测设备中用户自定义轮廓的方法
专利号：201110032938.8
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-01-30
专利名称：一种快速确定微细周期结构形貌参数的方法及设备
专利号：201010619446.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2010-12-28
专利名称：用于晶圆对准的图像匹配方法及设备
专利号：200910056304.9
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2009-08-12
专利名称：一种椭偏测量的方法及其装置
专利号：200810042435.7
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2008-09-03
专利名称：具有同时多波长、多入射角及多方位角的光学测量系统
专利号：200780016961.X
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2007-05-10
专利名称：光谱椭偏仪
专利号：200780022259.4
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2007-04-24
专利名称：Method and System for Wafer Alignment
专利号：14/293,506
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2010-08-11
专利名称：Robust Image Pattern Matching Using Multi Model Sourcing
专利号：US12/854536
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-09-10
专利名称：Method and Apparatus for Ellipsometry Measurement
专利号：13/061,878
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-06-02
专利名称：Method and Apparatus for Ellipsometry Measurement
专利号：PCT/CN2009/073713
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2010-08-11
专利名称：頻譜式橢偏儀
专利号：96128179.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-09-10
专利名称：Spectroscopic Ellipsometers
专利号：194915.0
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2014-06-02
专利名称：Spectroscopic Ellipsometers
专利号：US11/739679
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2010-08-11
专利名称：Composite Optical Focusing Devices
专利号：US12/436113
专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
时间：2011-09-10
专利名称：一种基于H.264的可伸缩视频编码方法
专利号：201110034808.8
专利权人：上海华岭集成电路技术有限责任公司
时间：2012-09-25
