专利
专利名称：一种用于主轴低速旋转气体密封装置
专利号：201220634038.0
专利名称：一种模块化硅片清洗机系统
专利号：201220704084.3
专利名称：化学药液储液罐转换连接器
专利号：201220696712.8
专利名称：化学液分配装置
专利号：201220602636.X
专利名称：可移动式密封装置
专利号：201210507554.1
专利名称：一种控制化学液温度的装置
专利号：201220710280.1
专利名称：一种移动式密封装置
专利号：201220652756.0
专利名称：防止液体飞溅的清洗装置和具有该装置的清洗系统
专利号：201220640683.3
专利名称：雾化清洗装置
专利号：201320053203.8
专利名称：一种工艺腔室排风系统及排风方法
专利号：201220499651.6
专利名称：盘状物夹持装置
专利号：201220545457.7
专利名称：化学液存储装置
专利号：201220511203.3
专利名称：螺母衬套
专利号：201220478240.9
专利名称：补液装置
专利号：201220523801.2
专利名称：防断电保护的硅片清洗机
专利号：201220478275.2
