专利
专利名称：化学液混合装置
专利号：201220481508.4
专利名称：支撑脚装置
专利号：201220397347.0
专利名称：半导体晶圆制造装置
专利号：201220400658.8
专利名称：风机过滤器固定装置
专利号：201220344864.1
专利名称：一种盘状夹持装置
专利号：201220394803.6
专利名称：一种用于硅片清洗的喷淋系统
专利号：201220400625.3
专利名称：晶片背面清洗装置
专利号：201220345404.0
专利名称：防止液体回溅装置
专利号：201220394790.2
专利名称：铜互连后清洗设备
专利号：201230319117.8
专利名称：铜互连后清洗机（300MM）
专利号：201230286205.2
专利名称：晶片清洗装置
专利号：201220163701.3
专利名称：一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置
专利号：201220063685.0
专利名称：薄片盘状物清洗甩干器
专利号：201120552147.3
专利名称：凸轮式盘状物夹持装置
专利号：201220006966.2
专利名称：一种板夹块
专利号：201220009210.3
