专利
专利名称：用于安装面板的装置
专利号：201120513106.3
专利名称：单片清洗设备中的硅片夹持装置
专利号：201120457925.0
专利名称：夹持平面盘状物的装置
专利号：201220053052.1
专利名称：安装有导轨的箱体
专利号：201120382573.7
专利名称：液体存储装置
专利号：201120381256.3
专利名称：晶圆状物件的输送系统
专利号：201120462496.6
专利名称：晶片表面清洗装置
专利号：201120458587.2
专利名称：防污染装置
专利号：201120361230.2
专利名称：反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室
专利号：201120361347.0
专利名称：超洁净微环境装置
专利号：201120382492.7
专利名称：半导体晶圆制造装置
专利号：201120551563.1
专利名称：一种运送晶圆状物件的装置
专利号：201120471211.5
专利名称：化学制剂处理系统
专利号：201020701144.7
专利名称：化学液存储设备
专利号：201020657387.5
专利名称：液体回流管
专利号：201020629853.9
