专利
专利名称：半导体晶圆制造装置(apparatus for manufacturing semiconductor wafer)
专利号：E12/00782021
专利名称：液体存储装置（a liqued storage device）
专利号：E12/00782014
专利名称：半导体晶圆制造装置(apparatus for manufacturing semiconductor wafer)
专利号：US13701880
专利名称：液体存储装置（a liqued storage device）
专利号：US13701903
专利名称：半导体晶圆制造装置
专利号：PCT/CN2012/076832
专利名称：液体存储装置
专利号：PCT/CN2012/076828
专利名称：化学药液供给系统
专利号：201210563808.1
专利名称：一种蚀刻剂及其制备和应用
专利号：201210540299.0
专利名称：一种液位测量装置
专利号：201310043327.2
专利名称：一种模块化硅片清洗机系统
专利号：201210553009.6
专利名称：一种排风装置
专利号：201210488684.5
专利名称：一种过滤装置
专利号：201210457651.4
专利名称：清洗兆声波换能器的装置
专利号：201210501990.8
专利名称：一种晶圆干燥方法及装置
专利号：201210489029.1
专利名称：一种化学液分配系统
专利号：201310039423X
