专利
专利名称：兆声波换能器的连接盖
专利号：201210388571.8
专利名称：化学液混合装置及方法
专利号：201210350984.7
专利名称：用于运动管件和固定平板连接处的密封装置
专利号：201210283209.4
专利名称：具有监测半导体晶片状态功能的夹持装置
专利号：201210348350.8
专利名称：一种喷淋装置
专利号：201210226886.2
专利名称：自调节夹紧装置
专利号：201210238133.3
专利名称：旋转薄片盘状物夹持装置
专利号：201210208778.2
专利名称：一种清洗雾化喷射装置
专利号：201210127692.7
专利名称：一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及方法
专利号：201210042925.3
专利名称：一种平衡硅片夹持机构
专利号：201210004898.0
专利名称：密封装置及密封系统
专利号：201110332641.3
专利名称：一种安全门
专利号：201110366066.9
专利名称：用于湿法腐蚀机清洗工艺的兆声波换能装置
专利号：201110355677.3
专利名称：兆声波换能装置
专利号：201110355925.4
专利名称：兆声波清洗头及包括该清洗头的兆声波清洗系统
专利号：201110304716.7
