专利
专利名称：随机相移混频型环状压电振子组合兆声波换能器
专利号：201110332322.2
专利名称：半导体晶圆制造装置
专利号：201110441994.7
专利名称：半导体晶圆运送系统
专利号：201110286931.9
专利名称：风门装置
专利号：201010621565.3
专利名称：单晶圆干燥装置及方法
专利号：201010582195.7
专利名称：漏液收集处理设备
专利号：201010607972.9
专利名称：一种层流风的压力控制方法
专利号：201010596427.4
专利名称：一种高速射流喷头
专利号：201010572640.1
专利名称：一种清洁晶片装置
专利号：201010536700.4
专利名称：一种自清洗腔体
专利号：201310106579.5
专利名称：一种空气调节监测系统
专利号：201210500868.9
专利名称：可多次使用的辅助安装工具
专利号：201210459089.9
专利名称：一种清洗机安全互锁保护系统及方法
专利号：201210541140.0
专利名称：一种去除光刻胶的溶液及其应用
专利号：2013100394210.0
专利名称：一种蚀刻剂及其制备和应用
专利号：201210540299.0
