专利

专利名称：可工位切换的精密定位承载台
专利号：201310513628.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-25
专利名称：一种曝光装置的内部框架结构
专利号：201310332055.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-02
专利名称：一种基于虚拟仪器的直线电机测试方法、装置及系统
专利号：200910200943.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2009-12-25
专利名称：用于光刻设备的真空声噪隔离系统
专利号：201310334088.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-02
专利名称：一种反射镜球面调整装置
专利号：201320283684.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：高精密磁悬浮主动减震设备
专利号：201310347667.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-09
专利名称：质量重心测量装置及方法
专利号：201310167089.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：六自由度微动台及其应用
专利号：201310245137.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-06-19
专利名称：一种中值滤波电路及方法
专利号：201110335148.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2011-10-28
专利名称：一种用于光刻设备的硅片对准光源系统
专利号：201310173131.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-05-13
专利名称：直线和平面电机线圈绕制装置与方法
专利号：201310193552.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：用于光刻设备的调焦调平检测装置及方法
专利号：201310349765.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-13
专利名称：一种基于相位检测的工件高度测量方法
专利号：201310461256.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-08
专利名称：用于光刻设备的掩模重力补偿装置
专利号：201310563528.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-11-14
专利名称：三维图形检测装置及测量方法
专利号：201310294767.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-12
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