专利
专利名称：步进扫描光刻机控制方法与系统
专利号：201310670336.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-10
专利名称：焦面调整装置
专利号：201320417821.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-12
专利名称：掩模版定位及传输装置
专利号：201320353862.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-06-19
专利名称：椭球反射镜焦点的检测装置及其检测方法
专利号：201310192710.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：光刻机工件台的清洁装置及方法
专利号：201310192707.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：一种新型光刻对准方法
专利号：201310413296.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-12
专利名称：一种版盒处理装置
专利号：201320417269.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-12
专利名称：机箱测试装置
专利号：201320284582.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：光刻机的硅片传输机械手控制器
专利号：201320247076.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：用于光刻设备的全局调平的装置和方法
专利号：201310130634.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-04-16
专利名称：物镜框架连接件
专利号：201310103931.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-27
专利名称：重载荷柔性支撑装置
专利号：201310103211.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-27
专利名称：一种调焦调平自身零平面调整装置和方法
专利号：201310268139.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-01
专利名称：一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法
专利号：201010022690.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-01-12
专利名称：对准装置
专利号：201310429313.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-09-18