专利

专利名称：一种曝光方法及其曝光装置
专利号：201310351942.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-14
专利名称：一种工件台接片手装置
专利号：201310513598.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-10-25
专利名称：用于光刻设备的调平调焦装置
专利号：201310091090.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-21
专利名称：用于光刻设备的预对准装置及方法
专利号：201310130183.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-04-16
专利名称：一种光刻设备对准系统
专利号：201310090951.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-03-21
专利名称：一种调焦调平测量方法
专利号：201310009894.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-11
专利名称：一种透镜热效应测量系统及测量方法
专利号：201110086184.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2011-04-07
专利名称：用于投影光刻机的调焦调平方法
专利号：201210528991.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-11
专利名称：一种硅片精确定位传输装置及定位方法
专利号：201310030287.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：可调缝宽的狭缝光阑调整装置
专利号：201320284563.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：光刻机的柔性支撑装置及柔性支撑件
专利号：201310049276.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-07
专利名称：重力补偿装置
专利号：201310670339.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-10
专利名称：调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置
专利号：201320043178.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：硅片推顶机构
专利号：201210587477.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种调焦调平检测装置
专利号：201210594380.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-31
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