专利

专利名称：一种多光源大视场拼接照明系统
专利号：201310183230.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-17
专利名称：线缆线序检测装置
专利号：201320043521.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：一种用于光刻装置的双面套刻系统及方法
专利号：201310009430.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-11
专利名称：辅助接片手装置
专利号：201220742891.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：三维调整机构
专利号：201320284565.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-22
专利名称：一种用于光刻设备的自参考干涉对准信号处理系统
专利号：201210530461.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-11
专利名称：一种激光光束垂直度的检测装置
专利号：201320247077.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：一种工件台安全防护装置
专利号：201310245119.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-06-19
专利名称：翘曲硅片吸附装置及其吸附方法
专利号：201210586817.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：磁预紧系统中低发热的永磁部件
专利号：201310049860.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-02-07
专利名称：一种动线圈式磁浮平面电机磁对准系统及其对准方法
专利号：201310030302.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-25
专利名称：一种工件台线缆装置
专利号：PCT/CN2013/089712
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-12-17
专利名称：一种工件台线缆装置
专利号：201210587444.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：零光程差自参考干涉对准系统
专利号：201310090910.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-03-21
专利名称：零光程差自参考干涉对准系统
专利号：201310090906.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-03-21
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