专利
专利名称：离轴对准系统及对准方法
专利号：TW102128957
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-13
专利名称：离轴对准系统及对准方法
专利号：PCT/CN2013/080800
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-08-05
专利名称：一种离轴对准系统及对准方法
专利号：201210402248.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-10-19
专利名称：一种电机位置干扰力校准方法
专利号：201210582462.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种推顶机构及具有该推顶机构的光刻装置
专利号：201210254245.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-20
专利名称：一种全局调平边沿扫描的装置和方法
专利号：201210285811.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-08-13
专利名称：掩模交接机构及其具有掩模交接机构的掩模台
专利号：201210333084.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-09-10
专利名称：一种硅片对准方法
专利号：201310010178.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-11
专利名称：一种磁浮平面电机C
专利号：201210435172.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-02
专利名称：一种磁浮平面电机A
专利号：201210434927.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-02
专利名称：一种分体式气足及平面导向装置
专利号：201210434946.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-02
专利名称：平面电机磁阵列工装装置及其安装方法
专利号：201210586838.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：直线电机及平台装置
专利号：201210525941.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-07
专利名称：一种反射式物镜结构及其制造方法
专利号：201210339085.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-09-14
专利名称：一种用于光刻曝光的快门装置及其使用方法
专利号：201210296891.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-08-21