专利

专利名称：大翘曲硅片预对准装置及方法
专利号：201210333082.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-09-10
专利名称：减振装置
专利号：201210276067.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-08-03
专利名称：一种用于折反射式投影物镜的热效应控制装置
专利号：201210581990.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种投影物镜光学系统
专利号：201210319547.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-09-03
专利名称：一种磁浮直线电机
专利号：201220355640.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-20
专利名称：物镜保护装置
专利号：201220320066.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-03
专利名称：二维调整机构及二维调整方法
专利号：201210285503.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-08-10
专利名称：用于光刻曝光中的光强调节装置及光强调节方法
专利号：201210319549.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-09-03
专利名称：用于硅片对准级间串绕测试和拟合的信号处理方法
专利号：201310040710.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-02-01
专利名称：基于光源调制的掩模预对准系统及预对准方法
专利号：201210159466.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-05-22
专利名称：曝光装置
专利号：201210587429.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：温控设备管路切换装置
专利号：201220319994.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-03
专利名称：掩模版盒开锁机构
专利号：201220540657.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-10-19
专利名称：密封对接装置
专利号：201210435175.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-01-23
专利名称：一种用于运动台误差定位误差校准的方法
专利号：201210181490.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-06-05
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