专利

专利名称：一种投影物镜光学系统
专利号：201210091295.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-03-31
专利名称：一种折反射式投影物镜
专利号：201210124846.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-26
专利名称：抗线圈干扰的磁浮平面电机初始化位置检测系统及方法
专利号：201310103920.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-27
专利名称：一种具有可控曲率的凹面结构的封装结构及其制造方法
专利号：201210228941.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-03
专利名称：应用于机械设备几何误差测量的三自由度激光测量系统
专利号：201310168047.4
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-08
专利名称：吸盘及使用该吸盘的承片台和硅片吸附方法
专利号：201210230374.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-04
专利名称：分束棱镜调整机构
专利号：201220377239.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-31
专利名称：气浮管接头组件及应用其的六自由度气浮管接头和掩模台
专利号：201210118795.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-20
专利名称：一种高精度通用测量装置
专利号：201210435174.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-11-02
专利名称：用于光刻设备的正面与背面对准装置
专利号：201310173132.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-13
专利名称：一种像方标记承载装置及制造该承载装置的方法
专利号：201210164215.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-05-25
专利名称：一种光刻设备垂向动态曝光方法及装置
专利号：201310090953.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-03-21
专利名称：一种基于正交化模型的离轴信号处理方法、装置及系统
专利号：201010164981.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-04-29
专利名称：掩膜版传输装置和方法
专利号：201210528214.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-07
专利名称：用于光刻设备的对准系统和方法
专利号：201310158793.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-05-03
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