专利

专利名称：掩模版传输系统
专利号：201310049274.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2013-02-07
专利名称：一种工件台装置
专利号：201210229098.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-03
专利名称：一种对准系统光阑板的调整机构
专利号：201210099944.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-06
专利名称：一种硅片直线交换装置及方法
专利号：201210153116.x
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-05-15
专利名称：对准照明系统及其光波分复用装置
专利号：201220271441.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-06-08
专利名称：一种光刻工艺参数测量装置及方法
专利号：201210189345.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-06-08
专利名称：长条镜安装装置
专利号：201210402585.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-10-19
专利名称：一种能监测硅片台位置精度的光刻机
专利号：201010170427.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-05-10
专利名称：微动台及气浮轴承
专利号：201210270601.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-31
专利名称：外参考干涉硅片对准系统
专利号：201210058040.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-03-07
专利名称：一种掩模台水平向测量装置及方法
专利号：201210119292.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-20
专利名称：一种用于曝光装置的掩模台
专利号：201210119643.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-20
专利名称：温度控制装置、应用其的投影曝光装置及温度控制方法
专利号：201010172670.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-05-12
专利名称：硅片对准光源幅度调制装置
专利号：201010173160.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2010-05-12
专利名称：双功能掩模台底部装置
专利号：201220079643.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-03-05
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