专利

专利名称：光刻机工作台及其工作方法
专利号：201210254039.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-20
专利名称：一种角分辨散射测量装置及其测量方法
专利号：201210062966.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-03-09
专利名称：一种具有工位切换功能的掩模台
专利号：201210118780.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-20
专利名称：柔性双边驱动设备的位置控制装置、及相关参数的整定方法
专利号：201010198488.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-06-11
专利名称：显示器视角调节装置及其调整方法
专利号：201210228915.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-03
专利名称：光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机
专利号：201210189442.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-06-08
专利名称：一种真空吸附装置及吸附测校方法
专利号：201210587442.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-12-28
专利名称：一种硅片吸附装置及其吸附方法
专利号：201210103995.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-11
专利名称：一种硅片曝光方法及装置
专利号：201210103994.0
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-11
专利名称：翘曲片工装、使用方法及其交接片装置
专利号：201110416820.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2011-12-14
专利名称：用于测量投影物镜畸变的标记结构及方法
专利号：201010539542.8
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-11-11
专利名称：直线电机及平台装置
专利号：PCT/CN2013/078671
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2013-07-02
专利名称：直线电机
专利号：201210270584.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-07-31
专利名称：一种光束间不平行角度的补偿方法
专利号：201010592293.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-16
专利名称：投影式斜坡曝光光刻机装置与方法1
专利号：201010606317.1
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2010-12-22
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