专利
专利名称：A METHOD FOR DUAL ENERGY IMPLANTATION FOR...
专利号：12/830,241
专利名称：Dual Damascene Copper Process Using a Selected Mask
专利号：13/093,809
专利名称：用于校准光刻工具的装置及方法
专利号：200910057967.2
专利名称：APPARATUS AND METHOD FOR CALIBRATING LITHOGRAPHY PROCESS
专利号：12/891,738
专利名称：SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING ONE OR...
专利号：12/649,278
专利名称：Testkey Design of Local High Temperature Environment Creation for Wafer Level Reliability Test
专利号：12/616,749
专利名称：化学机械抛光系统
专利号：200910194798.7
专利名称：METHOD AND SYSTEM FOR FORMING CONDUCTIVE BUMPING WITH COPPER INTERCONNECTION
专利号：13/269,538
专利名称：制作半导体器件的方法
专利号：200910194917.9
专利名称：Application of Millisecond Heating Source for Surface Treatment
专利号：12/842,017
专利名称：用于制造半导体器件的方法
专利号：200910195631.2
专利名称：METHOD OF RAPID THERMAL TREATMENT USING HIGH ENERGY
专利号：12/869,620
专利名称：Metal oxide semiconductor device and method for manufacturing the same
专利号：12/536,005
专利名称：一种精密离子研磨机台及其样片夹
专利号：200910050249.2
专利名称：A lead frame
专利号：12/503,780
