专利
专利名称：一种四叶像差变形镜装置
专利号：201410312558
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-07-01
专利名称：一种光刻投影物镜环境采集控制系统及其控制方法
专利号：201410250580
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-06-06
专利名称：光学系统波前主动补偿装置
专利号：201410187121
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2014-05-05
专利名称：一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置
专利号：201010613598
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-12-30
专利名称：一种光学元件重力变形的补偿装置
专利号：201010529506
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-11-03
专利名称：一种色温可调的白场仪
专利号：201010541145
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-11-12
专利名称：一种用于光学测量的积分球装置
专利号：201010242599
专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
时间：2010-08-02
专利名称：一种用于光刻机的光源掩模优化方法
专利号：201510097251
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-07-20
专利名称：光学元件往复式转动机构
专利号：201510869640
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-04-14
专利名称：用于光刻设备的莫尔条纹对准装置
专利号：201510428736
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-11-06
专利名称：太阳模拟器光学系统
专利号：201510407889.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-09-21
专利名称：步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置
专利号：201510428824
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-09-17
专利名称：深紫外光刻机照明系统光瞳面光强分布的控制装置
专利号：201510174150
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-09-15
专利名称：用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统
专利号：201410620550
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-07-31
专利名称：用于光刻机的能量探测装置
专利号：ZL201410528137.4
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-07-23