专利
专利名称：高精度光学间隔测量装置和测量方法
专利号：201410472653
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-07-31
专利名称：应用于远距离的光束稳定装置和光束稳定方法
专利号：ZL201410468136.8
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-08-26
专利名称：高精度的间隔测量装置
专利号：ZL201410370880.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-07-22
专利名称：基于单个空间光调制器的彩色微型投影装置
专利号：ZL201410357373.4
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-07-16
专利名称：位置敏感探测器输出信号的处理电路与处理方法
专利号：201410371007
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-04-01
专利名称：一种光刻机光源的优化方法
专利号：201410422502
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-04-01
专利名称：多个可动镜片共用光栅尺的回零装置及控制方法
专利号：ZL201410348746.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-03-31
专利名称：自动挂靠及简易解锁的对接装置
专利号：ZL201410336496.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2015-04-03
专利名称：光刻机照明光源的描述方法
专利号：201410160575
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-01-23
专利名称：用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜
专利号：201410129663
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-01-23
专利名称：用于激光等离子体质谱仪的激光剥蚀系统
专利号：201410126645.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-01-14
专利名称：光刻机照明光瞳偏振态测量用光学系统
专利号：201510155836
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-12-13
专利名称：用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法
专利号：ZL201410029948.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-11-29
专利名称：基于受激光发射损耗的激光直写曝光装置
专利号：ZL201410029950.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-11-06
专利名称：六自由度调整安装机构
专利号：ZL201410014815.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-11-06