专利
专利名称：长导轨直线度测量装置
专利号：201310628029.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-10-31
专利名称：并行计算光学条纹图相位提取方法
专利号：201310545345
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-09-18
专利名称：光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构
专利号：ZL201310544975.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-06-10
专利名称：大口径透镜的调整固定装置
专利号：ZL201310530362.7
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-09-16
专利名称：深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法
专利号：ZL201310428685.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-09-16
专利名称：用于印刷电路板光刻领域LDI光刻设备的光刻方法
专利号：201510437817.X
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-09-16
专利名称：共轭距可变的光刻投影物镜、光刻方法
专利号：ZL201310422537.2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-08-16
专利名称：光刻环形照明模式产生装置
专利号：ZL201310422536.8
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-08-26
专利名称：多自由度调整机构
专利号：ZL201310419708.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-08-08
专利名称：用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
专利号：ZL201310360623.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-08-16
专利名称：步进扫描投影光刻机的照明系统
专利号：PCT/CN2013/001005
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2012-08-23
专利名称：Device and method for measuring phase retardation distribution and fast axis azimuth angle distribution in real time
专利号：US14/456,860
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-12-12
专利名称：Device and method for measuring phase retardation distribution and fast axis azimuth angle distribution in real time
专利号：EP12878709.0
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2011-06-28
专利名称：相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法
专利号：PCT/CN2012/000990
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2011-06-28
专利名称：Device and method for detecting optical performance of beam shaping element
专利号：US 9,121,788B2
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-07-22
