专利

专利名称：一种投影物镜倍率及畸变检测装置及方法
专利号：CN201310277804.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-07-04
专利名称：一种投影物镜
专利号：CN201310428635.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-09-18
专利名称：一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
专利号：CN201310473266.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-10-11
专利名称：一种大数值孔径纯折射式投影光学系统
专利号：CN201310470094.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-10-10
专利名称：一种大数值孔径的投影光学系统
专利号：CN201310470645.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-10-10
专利名称：一种可升降的滑动轨道
专利号：CN201310428508.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-09-18
专利名称：一种快速确定衍射孔位置并对准的装置和方法
专利号：CN201310219983.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-06-05
专利名称：消除圆对称位相型计算全息基片条纹图形畸变的方法
专利号：CN201310127454.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-04-12
专利名称：检测计算全息基片面形和材料不均匀性误差的装置和方法
专利号：CN201310112487.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-04-02
专利名称：一种光学球面、曲率半径的测量方法
专利号：CN201110401073.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-12-06
专利名称：无气泡折射液涂抹装置及无气泡折射液的涂抹方法
专利号：CN201110303881.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-09-28
专利名称：一种用于石英不规则表面光学玻璃材料应力检测装置
专利号：CN201210405299.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-10-22
专利名称：一种玻璃测试用折射液
专利号：CN201110214193.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-07-29
专利名称：一种动镜弹性支撑装置
专利号：CN201210026273.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-02-07
专利名称：一种轴向微调装置
专利号：CN201110369197.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-11-18
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