专利

专利名称：一种动镜二维平面调整装置
专利号：CN201110343675.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-11-03
专利名称：一种动镜平面微调机构装置
专利号：CN201110343788.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-11-03
专利名称：一种投影物镜柔性机构调平装置
专利号：CN201110236543.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2011-08-17
专利名称：一种投影物镜
专利号：CN201210360715.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-09-21
专利名称：一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜面的方法
专利号：CN201210325586.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-09-05
专利名称：一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置和方法
专利号：CN201210319845.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-08-31
专利名称：一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置
专利号：CN201210304174.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-08-24
专利名称：一种基于加权最小二乘法的平面子孔径拼接的方法
专利号：CN201210180322.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-06-04
专利名称：一种光学面形的检测装置和检测方法
专利号：CN201210199391.5
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-06-15
专利名称：一种投影物镜波像差检测装置及方法
专利号：CN201210154523.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-05-18
专利名称：一种移动平台
专利号：CN201210133515.X
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-05-03
专利名称：一种高分辨率投影光学系统
专利号：CN201210132632.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-05-02
专利名称：一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置和方法
专利号：CN201210106746.1
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-04-10
专利名称：一种精密夹具
专利号：CN201210103829.5
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-04-10
专利名称：一种精确对中定位装置
专利号：CN201210103711.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2012-04-10
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