专利
专利名称：一种凸锥镜的在线检测加工装置
专利号：CN201510351236.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-06-24
专利名称：一种光刻投影物镜偏振仿真分析方法
专利号：CN201510245397.5
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-05-14
专利名称：一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法
专利号：CN201310279661.8
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-07-04
专利名称：一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法
专利号：CN201510591739.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-09-16
专利名称：一种偏振转化装置
专利号：CN201510229681.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2015-05-07
专利名称：一种光束偏振度测量装置和方法
专利号：CN201430503691.7
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-09-25
专利名称：一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法
专利号：CN201410620938.3
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-11-04
专利名称：一种光学系统热分析仿真方法
专利号：CN201410219068.9
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-05-16
专利名称：一种实现自由照明光瞳的微反射阵列控制方法
专利号：CN201410767829.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-12-12
专利名称：一种光刻照明模式产生装置
专利号：CN201410131217.6
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-04-03
专利名称：一种照明变焦系统
专利号：CN201410157886.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-04-18
专利名称：一种激光准直扩束系统
专利号：CN201410019186.5
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2014-01-15
专利名称：一种偏振纯化装置
专利号：CN201310461627.2
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-09-30
专利名称：一种深紫外光刻照明系统
专利号：CN201310400805.0
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-09-05
专利名称：一种对面阵半导体激光光束进行匀化处理的光学系统
专利号：CN201310184817.4
专利权人：中国科学院光电技术研究所
时间：2013-08-21