专利

专利名称：用氩等离子体处理金属表面方法
专利号：201010540251
专利权人：复旦大学
时间：2010-11-11
专利名称：用加热甲烷处理金属表面的方法
专利号：ZL201010540163
专利权人：复旦大学
时间：2010-11-11
专利名称：用加热一氧化碳处理金属表面的方法
专利号：ZL201010540198.4
专利权人：复旦大学
时间：2010-11-11
专利名称：一种等离子体浸没注入设备的剂量控制系统
专利号：201010514606.9
专利权人：复旦大学
时间：2010-10-21
专利名称：一种等离子体浸没注入剂量的检测装置
专利号：201010191678.4
专利权人：复旦大学
时间：2010-06-03
专利名称：一种氧化硅超疏水薄膜的溶胶凝胶制备方法
专利号：ZL201010153498.7
专利权人：复旦大学
时间：2010-04-22
专利名称：检测焊球失效的电子散斑干涉系统及无损检测方法
专利号：201010102795.9
专利权人：复旦大学
时间：2010-01-28
专利名称：一种等离子体浸没注入剂量标定方法
专利号：200910197207.1
专利权人：复旦大学
时间：2009-10-15
专利名称：一种可用于微波频段的圆片级穿硅传输结构制造方法
专利号：PCT/CN2012/070308
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-17
专利名称：一种基于铟凸点的无助焊剂回流工艺方法
专利号：PCT/CN2011/081091
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-17
专利名称：利用TSV技术实现GaAs图像传感器的圆片级封装方法
专利号：ZL201210014615.0
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-17
专利名称：一种实现红外焦平面阵列探测器中硅读出电路测试的方法
专利号：ZL201210014614.6
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-17
专利名称：一种与RDL工艺兼容的电感元件及制造方法
专利号：201210012852.3
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-16
专利名称：一种改进型湿度传感器的制作方法
专利号：ZL201210013080.5
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-16
专利名称：一种改进型的基于聚酰亚胺的湿度传感器
专利号：201210013098.5
专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
时间：2012-01-16
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