专利

专利名称：用于化学机械研磨制程的激光衬垫窗口
专利号：201210231295.4
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-07-05
专利名称：一种铝衬垫成膜工艺方法
专利号：201210191240.5
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-06-11
专利名称：一种自对准硅化物晶体管及其制造方法
专利号：201210507600.8
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：一种能保护硼磷硅玻璃层的半导体结构及其制造方法
专利号：201210162931.2
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-05-24
专利名称：绝缘体上硅结构以及半导体器件结构
专利号：201210507579.1
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-11-30
专利名称：互连结构的形成方法
专利号：201210217264.3
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-06-27
专利名称：增强型全局对准标记和光刻版图
专利号：201210122553.5
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：宽带正交信号产生器
专利号：201210191427.5
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-06-11
专利名称：电感及其形成方法、射频器件、集成无源器件
专利号：201210122321.X
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-04-24
专利名称：清洗装置
专利号：201210142944.3
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-05-09
专利名称：多晶硅电阻器结构及其制造方法
专利号：201210142950.9
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-05-09
专利名称：阱注入方法、绝缘体上硅器件制造方法和绝缘体上硅器件
专利号：201210261798.6
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-07-26
专利名称：层叠MIM电容器结构以及半导体器件
专利号：201210093909.7
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-03-31
专利名称：评估淀积形成薄膜性能的方法
专利号：201210143419.3
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-05-09
专利名称：侧墙、形成侧墙、半导体器件的方法
专利号：201210124627.9
专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
时间：2012-04-25
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