专利
专利名称：METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR
专利号：13/376833
专利名称：METHOD FOR MANUFACTURING SELF-ALIGNED THIN FILM TRANSISTOR
专利号：13/376836
专利名称：FABRICATION METHOD FOR SURROUNDING GATE SILICON NANOWIRE TRANSISTOR WITH AIR AS SPACERS
专利号：13/266,791
专利名称：SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
专利号：13/201,618
专利名称：METHOD FOR FABRICATING A TUNNELING FIELD-EFFECT TRANSISTOR
专利号：13/133,643
专利名称：METHOD FOR INTRODUCING CHANNEL STRESS AND FIELD EFFECT TRANSISTOR FABRICATED BY THE SAME
专利号：13/131,602
专利名称：METHOD FOR ELIMINATING CONTACT BRIDGE IN CONTACT HOLE PROCESS
专利号：13/497,768
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2012-03-22
专利名称：SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
专利号：13/497，744
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2012-03-22
专利名称：METHOD FOR FILLING A GAP
专利号：13/379,967
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-12-21
专利名称：Thermal oxidation system and method for preventing a water solution from accumulation
专利号：13/380,930
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-12-27
专利名称：HEATING METHOD FOR MAINTAINING A STABLE THERMAL BUDGET
专利号：13/379,242
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-12-19
专利名称：METHOD FOR IMPROVING WITHIN DIE UNIFORMITY OF METAL PLUG CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION PROCESS IN GATE LAST ROUTE
专利号：13/377,889
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-12-13
专利名称：SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD
专利号：13/380,096
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-12-22
专利名称：Chemical-Mechanical Planarization Method and Method for Fabricating Metal Gate in Gate-Last Process
专利号：13/142，736
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-06-29
专利名称：METAL INTERCONNECTION STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING METAL INTERLAYER VIA AND METAL INTERCONNECTION LINE
专利号：13/143,507
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2011-07-06
