专利

专利名称:晶体管及其制造方法
专利号:201010622874.2
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-29
专利名称:MOS晶体管及其制作方法
专利号:201010606342.X
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-24
专利名称:MOS晶体管及其制作方法
专利号:201010606316.7
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-24
专利名称:带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法
专利号:201010607488.6
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-27
专利名称:层间电介质的近界面平坦化回刻方法
专利号:201110003118.6
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2011-01-07
专利名称:层间电介质层的平面化方法
专利号:201010601744.0
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-22
专利名称:半导体器件的制造方法
专利号:201010601699.9
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-22
专利名称:化学机械抛光设备及其预热方法
专利号:201010599278.7
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-21
专利名称:自对准式二次成像方法
专利号:201010611749.1
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-28
专利名称:一种半导体器件的制造方法
专利号:201010594946.7
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-17
专利名称:晶体管、包括该晶体管的半导体器件及其制造方法
专利号:201010610932.X
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-17
专利名称:一种MOS管及其制造方法
专利号:201010587887.0
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-14
专利名称:MOSFET及其制造方法
专利号:201010573204.6
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-03
专利名称:MOSFET及其制造方法
专利号:201010573334.X
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-03
专利名称:一种环绕栅场效应晶体管的制备方法
专利号:201010578678.X
专利权人:中国科学院微电子研究所
时间:2010-12-08
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