专利

专利名称：绝缘体上硅衬底制备方法
专利号：200810201039.4
专利权人：上海新傲科技股份有限公司
时间：2008-10-10
专利名称：实现等离子体刻蚀腔体弹性接触的连接器件
专利号：201210017825.5
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-01-20
专利名称：实现等离子体刻蚀腔体弹性接触的连接器件
专利号：101110043
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-23
专利名称：一种电感耦合式的等离子体处理装置及其基片处理方法
专利号：100146054
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-12-13
专利名称：一种自动实现射频功率匹配的方法和系统
专利号：100149962
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-12-30
专利名称：一种反应腔漏气检测方法及真空反应器控制方法
专利号：100100570
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-01-07
专利名称：一种用于真空处理系统的安装装置
专利号：99147277
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2010-12-31
专利名称：一种易于释放晶片的静电吸盘结构及方法
专利号：100128003
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-08-05
专利名称：一种用于处理SOI结构的真空处理系统
专利号：99225758
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2010-12-31
专利名称：一种探测晶片偏移位置的方法
专利号：100128006
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-08-05
专利名称：RF Autotuning
专利号：13/337246
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-12-26
专利名称：用于等离子体处理的电极组件、内部组件及其制造和分离方法
专利号：200910053899.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2009-06-26
专利名称：快速控制静电吸盘温度的装置及方法
专利号：201110369759.3
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-11-18
专利名称：一种自动实现射频功率匹配的方法和系统
专利号：201110362541.5
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-11-16
专利名称：一种电感耦合式的等离子体处理装置及其基片处理方法
专利号：201110269393.2
专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-09-13
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