专利
专利名称：真空卡盘
专利号：201410366516.8
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：防水称重装置
专利号：201410366217.4
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：酸气碱气分离装置
专利号：201410365809.4
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：铜与低K介质材料的整合工艺
专利号：201410366361.8
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：溶剂供应系统
专利号：201410366352.9
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：一种半导体工艺当中在先浸润基板的装置和方法
专利号：201410365860.5
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：真空腔盖翻转装置
专利号：201410365826.8
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：电化学抛光设备
专利号：201410366491.1
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：无应力抛光设备及其工艺腔体
专利号：201410366494.5
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：脉冲电化学抛光工艺中优化工艺配方的方法
专利号：201410365997.0
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：电化学加工工艺及电化学加工装置
专利号：201410366155.7
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：水浴热交换器
专利号：201410366183.9
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：晶圆清洗装置
专利号：201410365916.7
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：抛光液过滤装置
专利号：201410366212.1
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29
专利名称：稳流装置
专利号：201410365759.X
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-29