专利
专利名称：光刻胶瓶固持称重装置
专利号：201410236038.9
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：涂胶喷嘴自动清洗装置
专利号：201410235425.0
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：光刻胶瓶固持装置
专利号：201410235896.1
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：均匀气流装置
专利号：201410235427.X
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：晶圆固持装置
专利号：201410236011.X
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：遮盖自动识别装置
专利号：201410235849.7
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：导电磁性连接结构
专利号：201410235879.8
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：带通气槽旋转轴
专利号：201410236101.9
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：改善晶圆抛光均匀度的方法
专利号：201410236044.4
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
专利名称：一种形成金属互连结构的方法
专利号：201480079797.7
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-08
专利名称：method for forming metal interconnection
专利号：2017-501030
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-08
专利名称：method for forming metal interconnection
专利号：10-2017-7000636
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-08
专利名称：method for forming metal interconnection
专利号：PCT/CN2014/081790
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-07-08
专利名称：一种形成金属互连结构的方法
专利号：105100198
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2016-01-05
专利名称：干法刻蚀装置
专利号：201410236042.5
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2014-05-30
