专利
专利名称：loadlock chamber and method for treating substrates using the same
专利号：PCT/CN2012/075992
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-24
专利名称：载锁腔及使用该载锁腔处理基板的方法
专利号：102127451
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-31
专利名称：硅片位置检测装置和方法
专利号：201280072827.2
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-02
专利名称：Apparatus And Method For Detecting Position Of Wafer
专利号：10-2014-7031930
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-02
专利名称：Apparatus And Method For Detecting Position Of Wafer
专利号：PCT/CN2012/074966
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-02
专利名称：晶圆位置检测装置及检测方法
专利号：102134805
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-09-26
专利名称：粘度自动控制系统及自动控制方法
专利号：201210163151.X
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-22
专利名称：晶片边缘清洗装置
专利号：201210163145.4
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-05-22
专利名称：适用于电解抛光和/或电镀的真空夹具
专利号：201280071572.8
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-28
专利名称：VACUUM CHUCK FOR ELECTROPOLISHING AND/OR ELECTROPLATING
专利号：PCT/CN2012/073172
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-28
专利名称：适用于电解抛光和/或电镀的真空夹具
专利号：102127454
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2013-07-31
专利名称：真空夹具
专利号：201280071561.X
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-28
专利名称：VACUUM CHUCK
专利号：14/389,192
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-28
专利名称：VACUUM CHUCK
专利号：10-2014-7029699
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-28
专利名称：VACUUM CHUCK
专利号：PCT/CN2012/073175
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-03-28
