专利
专利名称：METHOD FOR FORMING AIR GAP INTERCONNECT STRUCTURE
专利号：10-2014-7010406
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-09-20
专利名称：METHOD FOR FORMING AIR GAP INTERCONNECT STRUCTURE
专利号：PCT/CN2011/079859
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2011-09-20
专利名称：空气隙互联结构之形成方法
专利号：101102572
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2012-01-20
专利名称：阻挡层的去除方法和装置
专利号：201410257649.1
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2009-05-08
专利名称：阻挡层的去除方法和装置
专利号：200910050835.7
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2009-05-08
专利名称：BARRIER LAYER REMOVAL METHOD AND APPARATUS
专利号：2011-523289
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2008-08-20
专利名称：BARRIER LAYER REMOVAL METHOD AND APPARATUS
专利号：2011-7006278
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2008-08-20
专利名称：BARRIER LAYER REMOVAL METHOD AND APPARATUS
专利号：14/068,625
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2008-08-20
专利名称：BARRIER LAYER REMOVAL METHOD AND APPARATUS
专利号：13/059,814
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2008-08-20
专利名称：BARRIER LAYER REMOVAL METHOD AND APPARATUS
专利号：PCT/CN2008/072059
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2008-08-20
专利名称：BARRIER LAYER REMOVAL METHOD AND APPARATUS
专利号：97131982
专利权人：盛美半导体设备（上海）有限公司
时间：2008-08-21
专利名称：化学机械抛光水性组合物及其用途
专利号：201310144352.X
专利名称：一种水溶性金属防锈剂及其制备方法
专利号：201210149623.6
专利名称：化学机械抛光垫及化学机械抛光方法
专利号：201210082661.4
专利名称：一种用于蓝宝石晶片的抛光组合物
专利号：201110223877.3
专利权人：清华大学，深圳清华大学研究院，深圳市力合材料有限公司
时间：2011-08-05
