专利

专利名称：一种用于硬盘盘基片超精密表面制造的抛光组合物
专利号：201110216580.4
专利权人：清华大学，深圳清华大学研究院，深圳市力合材料有限公司
时间：2011-07-29
专利名称：一种轴承实验台
专利号：201010623427.9
专利权人：清华大学
时间：2010-12-31
专利名称：润滑剂组合物
专利号：201010599093.6
专利权人：清华大学
时间：2010-12-21
专利名称：一种润滑剂膜厚测量仪
专利号：200910219284.2
专利权人：清华大学
时间：2009-12-03
专利名称：一种用于玻璃模具表面的NI-W-纳米CEF3复合镀层及电镀方法与电解液
专利号：200810246694.1
专利权人：清华大学
时间：2008-12-31
专利名称：聚合物涂层及其制备方法和应用
专利号：201410250934.0
专利权人：清华大学
时间：2014-06-06
专利名称：抛光垫修整头和具有该抛光垫修整头的抛光垫修整器
专利号：201220059903.3
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2012-02-21
专利名称：抛光液挡板
专利号：201120374836.X
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-09-28
专利名称：用于晶圆交换装置的晶圆托架和晶圆交换装置
专利号：201120298531.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-08-16
专利名称：抛光头组件
专利号：201120233169.3
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-07-04
专利名称：晶圆清洗支撑轮组件及晶圆竖直清洗装置
专利号：201120233165.5
专利权人：清华大学
时间：2011-07-04
专利名称：新型化学机械抛光装置
专利号：201020510119.0
专利权人：清华大学
时间：2010-08-30
专利名称：化学机械抛光机的抛光头支架
专利号：201020283470.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2010-08-05
专利名称：用于清洗修整器的清洗装置
专利号：201410536152.3
专利权人：清华大学
时间：2014-10-11
专利名称：用于清洗修整器的防溅射装置
专利号：201410535824.9
专利权人：清华大学
时间：2014-10-11
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