专利

专利名称：用于化学机械抛光机的自适应逆控制系统
专利号：201110388573.2
专利权人：清华大学
时间：2011-11-29
专利名称：晶圆托架、晶圆交换装置以及晶圆在位检测方法
专利号：201110382559.1
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-11-25
专利名称：晶圆在位检测装置以及晶圆在位检测方法
专利号：201110382233.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-11-25
专利名称：化学机械抛光方法
专利号：201110288857.4
专利权人：清华大学
时间：2011-09-23
专利名称：用于在线膜厚测量系统的标定方法及标定装置
专利号：201110284267.4
专利权人：清华大学
时间：2011-09-22
专利名称：用于晶圆交换装置的晶圆托架组件和晶圆交换装置
专利号：201110235354.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-08-16
专利名称：抛光垫修整方法
专利号：201110209279.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-07-25
专利名称：用于晶圆的刷洗装置
专利号：201110161250.X
专利权人：清华大学
时间：2011-06-15
专利名称：利用化学机械抛光设备进行化学机械抛光的方法
专利号：201110143287.X
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-05-30
专利名称：化学机械抛光设备
专利号：201110143089.3
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-05-30
专利名称：用于化学机械抛光的气路正压系统及化学机械抛光设备
专利号：201110135437.2
专利权人：清华大学
时间：2011-05-24
专利名称：用于控制修整器的气动控制回路和修整设备
专利号：201110098287.2
专利权人：清华大学
时间：2011-04-19
专利名称：机械与化学交互作用测量装置
专利号：201110080675.8
专利权人：清华大学
时间：2011-03-31
专利名称：ULSI多层铜布线铜的低下压力化学机械抛光的组合物
专利号：201110065350.2
专利权人：清华大学
时间：2011-03-17
专利名称：一种抛光头
专利号：201110039297.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-02-16
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