专利

专利名称：一种新型化学机械抛光装置
专利号：201010266634.3
专利权人：清华大学
时间：2010-08-30
专利名称：电涡流金属膜厚终点检测装置
专利号：201010236186.2
专利权人：清华大学
时间：2010-07-26
专利名称：一种用于化学机械平坦化的抛光垫及其制造方法
专利号：201010217079.5
专利权人：清华大学
时间：2010-06-23
专利名称：一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法
专利号：201010129185.8
专利权人：清华大学
时间：2010-03-18
专利名称：一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法
专利号：200910237484.0
专利权人：清华大学
时间：2009-11-09
专利名称：一种用于对抛光垫进行修整的修整装置
专利号：200910089150.3
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2009-07-31
专利名称：集成外转子式直驱抛光机转台
专利号：200910083590.8
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2009-05-11
专利名称：一种电机内置式抛光机转台
专利号：200910083589.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2009-05-11
专利名称：一种内循环冷却抛光盘
专利号：200910083720.8
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2009-05-07
专利名称：一种集成电路铜布线电沉积用的电解液
专利号：200810246695.6
专利权人：清华大学
时间：2008-12-31
专利名称：一种用于硅晶片抛光的抛光组合物
专利号：200810247567.3
专利权人：清华大学，深圳清华大学研究院
时间：2008-12-30
专利名称：一种集成电路铜布线的无磨粒化学机械抛光液
专利号：200810117832.6
专利权人：清华大学
时间：2008-08-05
专利名称：用于在线膜厚测量系统的标定方法及标定装置
专利号：201110284267.4
专利权人：清华大学
时间：2011-09-22
专利名称：用于测量硅片的膜厚度的测量装置
专利号：201110062594.5
专利权人：清华大学
时间：2011-03-15
专利名称：抛光液物理参数测量装置、测量方法和化学机械抛光设备
专利号：201110058436.2
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司
时间：2011-03-10
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