专利

专利名称：抛光液厚度测量装置、测量方法和化学机械抛光设备
专利号：PCT/CN2011/075423
专利权人：清华大学
时间：2011-06-07
专利名称：抛光液物理参数测量装置、测量方法和化学机械抛光设备
专利号：PCT/CN2011/075422
专利权人：清华大学
时间：2011-06-07
专利名称：抛光垫修整头
专利号：PCT/CN2011/076500
专利权人：清华大学
时间：2011-06-28
专利名称：化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备
专利号：PCT/CN2011/075452
专利权人：清华大学
时间：2011-06-08
专利名称：全局金属膜厚度测量装置
专利号：PCT/CN2011/082384
专利权人：清华大学
时间：2011-11-17
专利名称：用于晶圆的刷洗装置
专利号：PCT/CN2011/082380
专利权人：清华大学
时间：2011-11-17
专利名称：用于在线膜厚测量系统的标定方法及标定装置
专利号：PCT/CN2011/081939
专利权人：清华大学
时间：2011-11-08
专利名称：一种薄膜封装方法
专利号：201310753312.5
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-12-31
专利名称：一种薄膜封装方法
专利号：201310753356.8
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-12-31
专利名称：交替结构薄膜封装层界面的处理方法
专利号：201310753330.3
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-12-31
专利名称：一种PECVD系统
专利号：ZL201320892004.6
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-12-31
专利名称：一种薄膜封装系统
专利号：ZL201320892034.7
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-12-31
专利名称：一种电路单元
专利号：ZL201310028927.1
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-01-25
专利名称：一种用于匹配器设备的空气电容结构
专利号：ZL201310029910.8
专利权人：中国科学院微电子研究所
时间：2013-01-25
专利名称：加热盘阻抗测量工装及测量方法
专利号：PCT/CN2015/096922
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-12-10
上一页