专利
专利名称：一种多通道喷淋装置检漏工装及检测方法
专利号：PCT/CN2015/096935
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-12-10
专利名称：新型温控系统在低温薄膜制备中的应用
专利号：PCT/CN2015/092388
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-08-24
专利名称：一种低温沉积氮化硅薄膜的方法
专利号：PCT/CN2015/092389
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-21
专利名称：一种可改变晶圆表面薄膜形貌的陶瓷环
专利号：PCT/CN2015/092365
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-21
专利名称：一种8寸与12寸基板通用的平台结构
专利号：PCT/CN2015/092266
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-20
专利名称：一种带有热交换器的温控系统
专利号：PCT/CN2015/092244
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-20
专利名称：一种传片腔室抽气管路前端过滤碎片的结构
专利号：PCT/CN2015/092171
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-19
专利名称：一种射频等离子体设备匹配器
专利号：PCT/CN2015/092172
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-19
专利名称：一种互锁电路测试设备及测试方法
专利号：PCT/CN2015/092173
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-10-19
专利名称：半导体镀膜设备控温系统
专利号：PCT/CN2015/084431
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-07-20
专利名称：一种应用于半导体等离子体处理装置的弧面喷淋头
专利号：PCT/CN2015/084430
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-07-20
专利名称：控温型双气体通道均匀喷气喷淋板
专利号：PCT/CN2015/084424
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-07-20
专利名称：双层式负载腔室真空与大气快速平衡结构
专利号：PCT/CN2015/084423
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-07-20
专利名称：X、Y双轴联动非接触式晶圆翘曲度测量设备
专利号：PCT/CN2015/084422
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-07-20
专利名称：腔体气流方向可变结构
专利号：PCT/CN2015/076752
专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
时间：2015-04-16