专利
专利名称：一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置
专利号：ZL201310186972.X
专利名称：用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置
专利号：ZL201310205734.9
专利名称：用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置
专利号：ZL201310070625.0
专利名称：一种具有出水水质调节机构的超纯水制备装置
专利号：ZL201310112637.5
专利名称：非接触式流体元器件振动检测装置
专利号：ZL201210547449.0
专利名称：用于浸没式光刻机的气密封和气液隔离装置
专利号：ZL201210449140.8
专利名称：一种非接触式缝隙测量装置和方法
专利号：ZL201210405612.X
专利名称：用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置
专利号：ZL201210403590.3
专利名称：用于浸没式光刻机的阶梯式自适应气体密封装置
专利号：ZL201210403386.1
专利名称：用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置
专利号：ZL201210172953.7
专利名称：一种设备运行过程中的线缆通断检测保护装置
专利号：ZL201420423284.0
专利名称：一种直线电机线圈浸没式冷却结构
专利号：ZL201420272818.4
专利名称：一种磁铁配对装置
专利号：ZL201420179904.0
专利名称：一种标记板的定位系统
专利号：ZL201420033952.9
专利名称：一种正交脉冲输出的激光干涉仪信号处理装置
专利号：ZL201320891206.9
