专利

专利名称：具有微流道结构的单腔双电极放电腔及准分子激光器
专利号：201310098330.4
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-03-26
专利名称：一种采用环形腔结构的气体激光器放大系统
专利号：ZL201310220503.5
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-06-05
专利名称：DETECTION DEVICES AND METHODS USING DIFFRACTION WAVEFRONT OF A PINHOLE STITCHINGMEASUREMENT OF SURFACE SHAPE(中文名：一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法)
专利号：201410264644.1
专利权人：
时间：2014-01-01
专利名称：一种用于光刻机的浸没控制装置
专利号：ZL201210103398.2
专利权人：
时间：2012-04-10
专利名称：一种高数值孔径浸没投影物镜
专利号：ZL201310325062.5
专利权人：
时间：2013-07-30
专利名称：一种折反式紫外光刻物镜
专利号：ZL201310244143.2
专利权人：
时间：2013-06-19
专利名称：一种高NA投影物镜
专利号：201410155301.1
专利权人：
时间：2014-04-17
专利名称：一种浸没式紫外光学系统
专利号：ZL201310062008.6
专利权人：
时间：2013-02-27
专利名称：一种偏振光调制元件
专利号：201310312412.4
专利权人：
时间：2013-07-24
专利名称：一种非球面光刻耦合物镜
专利号：ZL201310178870.3
专利权人：
时间：2013-05-15
专利名称：一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法
专利号：201410384829.6
专利权人：
时间：2014-08-06
专利名称：一种偏振纯化装置
专利号：201410289361.2
专利权人：
时间：2014-06-24
专利名称：一种用于高数值孔径投影光刻系统的照明模式产生装置
专利号：201410131217.6
专利权人：
时间：2014-04-02
专利名称：一种高数值孔径成像系统偏振像差实时检测方法
专利号：201410339202.9
专利权人：
时间：2014-07-16
专利名称：一种光学系统面形误差相互补偿优化方法
专利号：201410028165.X
专利权人：
时间：2014-01-21
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