专利

专利名称：一种干涉曝光系统及其曝光方法
专利号：201210117916.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-22
专利名称：一种散射计量的装置和测量方法
专利号：201210119044.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-23
专利名称：一种硅片预对准测量装置
专利号：201210022850.2
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海微高精密机械工程有限公司
时间：2012-02-02
专利名称：一种掩模图形修正方法
专利号：201210119058.9
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2012-04-23
专利名称：极紫外光刻无缺陷掩模衍射谱快速严格仿真方法
专利号：201310534000.5
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-10-31
专利名称：极紫外光刻厚掩模缺陷的快速仿真方法
专利号：201310102557.1
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2013-03-27
专利名称：极紫外光刻含缺陷掩模衍射谱的快速严格仿真方法
专利号：201410487246.6
专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
时间：2014-09-23
专利名称：DPP-EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置
专利号：201510212307.2
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-04-29
专利名称：一种EUV反射镜清洗装置
专利号：201510229051.6
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-05-07
专利名称：超高真空中的热载光学元件冷却水路密封连接装置
专利号：201410188011.7
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2014-05-05
专利名称：光学元件表面碳污染的ArH清洗方法
专利号：201510212428.7
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-04-29
专利名称：一种光学元件表面碳污染清洗方法及装置
专利号：201510212191.2
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-04-29
专利名称：超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置
专利号：201410311668.8
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2014-07-01
专利名称：一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置
专利号：201510190428.1
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-04-21
专利名称：一种EUV光学元件的碳污染清洗方法
专利号：201510229123.7
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-05-07
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