专利
专利名称：具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统
专利号：201510289240.2
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-05-29
专利名称：一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置
专利号：201510316760.8
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-06-10
专利名称：EUV多层膜碳污染实验装置
专利号：201510213471.5
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-04-30
专利名称：用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
专利号：201410345343.1
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2014-07-18
专利名称：基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法
专利号：CN201510960103.7
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-12-21
专利名称：基于极紫外光谱仪的气体吸收系数测量装置
专利号：CN201510962152.4
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-12-21
专利名称：一种用于测试气体对极紫外光吸收率的测试装置及方法
专利号：CN201510963083.9
专利权人：中科院长春精密机械与物理研究所
时间：2015-12-21
专利名称：一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法
专利号：201611119916.4
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-12-08
专利名称：一种电子系统的自散热结构
专利号：201610912666.3
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-10-19
专利名称：一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法
专利号：201610911295.7
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-10-19
专利名称：真空环境中的弹性金属矩形密封装置
专利号：201610862026.6
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-09-28
专利名称：一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法
专利号：201610862031.7
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-09-28
专利名称：一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统
专利号：201610548432.5
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-07-13
专利名称：一种真空密封性能测量装置及方法
专利号：201610532002.4
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-07-07
专利名称：一种真空系统中散热件的密封散热装置
专利号：201610457964.8
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-06-22