专利

专利名称：一种分压漏率测量装置及方法
专利号：201610473484.0
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-06-24
专利名称：一种在线式气体分析装置及方法
专利号：201610168958.0
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-03-23
专利名称：一种动态气体锁的试验装置和试验方法
专利号：201610390695.8
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-06-03
专利名称：一种用于极紫外光刻机的动态气体锁
专利号：201610391179.7
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-06-03
专利名称：真空密封结构及其制造方法
专利号：201610139713.5
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-03-11
专利名称：一种密封式散热装置及其制造方法
专利号：201610137881.0
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2016-03-11
专利名称：一种聚合物辐照损伤测试装置与测试方法
专利号：201510745208.0
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-11-05
专利名称：一种极紫外光源性能参数的测量系统
专利号：201510772679.0
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-11-12
专利名称：一种材料分压放气率测试装置及方法
专利号：201510427893.2
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-07-20
专利名称：一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置
专利号：201510395139.5
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-07-07
专利名称：一种极紫外反射镜片的四维装调装置
专利号：201410545200.5
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2014-10-15
专利名称：极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法
专利号：201510076613.8
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-02-12
专利名称：一种极紫外反射镜片的装调装置
专利号：201510075790.4
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2015-02-12
专利名称：一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统
专利号：201310538366.X
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-11-04
专利名称：一种反射式光学元件温控系统
专利号：201310665292.6
专利权人：中国科学院光电研究院
时间：2013-12-10
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